掩膜板的定义:一般用在芯片制造上,也称光罩,曝光过程中的原始图形的载体,通过曝光过程,这些图形的信息将被传递到芯片上。光刻产品的遮挡,防止光的衍射.
掩膜板的产品特点:按客户图低制作,产品厚度0.10mm,(图中所有孔精度要求小于±5μm,所有孔的位置精度为小于±10μm)。
我国主要需求量主要在北京、上海、长三角、珠三角等发达地区。
光罩(英文:Reticle,Mask),在制作IC的过程中,利用光蚀刻技术,在半导体上形成图型,为将图型复i制於晶圆上,必须透过光罩作用的原理,类似于冲洗照片时,利用底片将影像复i制至相片上。
Reticle也称为Mask,翻译做光掩模板或者光罩,曝i光过程中的原始图形的载体,通过曝i光过程,这些图形的信息将被传递到芯片上。制造芯片时用.我们公司做的掩膜版,一般是根据客户的要求做的,客户提供图纸我们加工
光罩的制作过程
1.制作石英基板。空白基板通常为6英寸见方,连云港制版,厚度为0.25英寸。它由纯熔融石英制成,通常简称为石英。基板表面必须非常平坦且无缺陷。
2. 沉积吸收层。在基板上是薄的吸收层,可以阻挡来自光刻机的曝光。
3. 沉积光刻胶层。在吸收层的顶部是一层薄的光刻胶,暴露在光罩写入机(Mask Writer)之下。
4. 写入。由光罩写入机完成,制版厂家,使用电子束曝光光刻胶,将芯片设计的图案数据呈现在光刻胶上。
5. 烘烤。烘烤曝光的光刻胶,制版哪家好,要求在光罩上的每个点都温度均匀。
6. 显影。使用显影剂使光刻胶的图像显影,制版价格,漂洗并干燥而不留下任何残留物。因为光刻胶图案在蚀刻工艺期间用作光罩,所以该显影步骤是关键的,因为显影中的任何不均匀性将导致终图案尺寸的不均匀性。
7. 蚀刻。然后将显影的光罩放到到蚀刻机中,蚀刻机使用等离子体地蚀刻掉由写入和显影步骤带来的吸收剂材料。
8. 剥离和清洁。将蚀刻好的光罩装入清洁机器中,清洁机器使用干等离子体或湿化学法剥离光刻胶。
9. 测量。测量关键尺寸(CD)和图案精度,以确保它们符合客户规格。
10. 检查。为了验证图案精度,将光掩模加载到Inspection机台中。如果发现缺陷,则对它们进行分类和必要的修复。
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