光罩的制作过程
1.制作石英基板。空白基板通常为6英寸见方,厚度为0.25英寸。它由纯熔融石英制成,通常简称为石英。基板表面必须非常平坦且无缺陷。
2. 沉积吸收层。在基板上是薄的吸收层,可以阻挡来自光刻机的曝光。
3. 沉积光刻胶层。在吸收层的顶部是一层薄的光刻胶,暴露在光罩写入机(Mask Writer)之下。
4. 写入。由光罩写入机完成,使用电子束曝光光刻胶,将芯片设计的图案数据呈现在光刻胶上。
5. 烘烤。烘烤曝光的光刻胶,要求在光罩上的每个点都温度均匀。
6. 显影。使用显影剂使光刻胶的图像显影,漂洗并干燥而不留下任何残留物。因为光刻胶图案在蚀刻工艺期间用作光罩,所以该显影步骤是关键的,制版报价,因为显影中的任何不均匀性将导致终图案尺寸的不均匀性。
7. 蚀刻。然后将显影的光罩放到到蚀刻机中,连云港制版,蚀刻机使用等离子体地蚀刻掉由写入和显影步骤带来的吸收剂材料。
8. 剥离和清洁。将蚀刻好的光罩装入清洁机器中,清洁机器使用干等离子体或湿化学法剥离光刻胶。
9. 测量。测量关键尺寸(CD)和图案精度,以确保它们符合客户规格。
10. 检查。为了验证图案精度,将光掩模加载到Inspection机台中。如果发现缺陷,则对它们进行分类和必要的修复。
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什么是菲林...菲林film方∶胶卷,摄影用的感光片和胶卷,电影用软片,是旧时对film的翻译,现一般是指胶卷,也可以指印刷制版中的底片。
0.1mm厚度的软片菲林都是黑色的,菲林的边角一般有一个英文的符号,是菲林的编号,标明该菲林是C、M、Y、K中的哪一张,是cmyk的其中一个(或专色号),表示这张菲林是什么色输出的,如果没有,可以看挂网的角度,制版价格,来辨别是什么色。旁边的阶梯状的色条是用来进行网点密度校对的。
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掩膜版:通俗化点了解,等于以往用胶卷冲洗照片时的胶片照片。胶片照片假如精密度不足,是洗不出去高精相片的。光刻技术工程施工前,要依据设计构思好的集成ic电路原理图制做掩膜板。掩膜板材料是石英玻璃,夹层玻璃上带金属铬和光感应胶。根据激光器在金属铬上绘图电路原理图。精密度规定十分高。镜片:用镜片的电子光学基本原理,将掩膜版上的电路原理图按占比变小,再用灯源投射的硅片上。
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